Compact Type

Megasonic Reinigungssystem 

Modell C1500-ME  
 

mit "permanent frequency auto tuning" System

für beste Reinigungsergebnisse 

 
 

               

als Quarzbecken 

                        

               

           als Tauchtransducer                                          als PVDF- / PFA-Becken

     

als Edelstahlbecken

        

        Anwendungen :

  • Etching (H2SO4, H2O2, SC-1, SC-2, ...) bis 90°C
  • FR-, QDR-Reinigung von Wafern, Masken und anderen Substraten sämtlicher Größen
  • Reinigung von Harddiscs usw...

         

        Eigenschaften:

  • Entfernt Partikel im Submicron-Bereich
  • Schonende Reinigung
  • Automatischer Frequenzabgleich bringt optimales Reinigungsergebnis

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