Tanklose Megaschall - Reinigungsdüsen
Anwendungen
Reinigung von Single - Wafern, Masken, LCDs, MEMS und anderen Substraten
im Submicron - Bereich mittels Megaschall -
Düse mit Übertragungsmedium (z.B. DI-Wasser,...)
Funktions-Prinzip
