Megasonic Reinigungssystem

Modell C1500-ME

Compact Type
mit „permanent frequency auto tuning“ System für beste Reinigungsergebnisse

Megasonic Reinigungssystem Modell C1500-ME
Als Quarztank
Tauchtransducer
Als Tauchtransducer
PVDF- / PFA-Becken
Als PVDF- / PFA-Becken
Edelstahlbecken
Als Edelstahlbecken

Anwendungen:

Etching (H2SO4, H2O2, SC-1, SC-2, …) bis 90°C
FR-, QDR-Reinigung von Wafern, Masken und anderen Substraten sämtlicher Größen
Reinigung von Harddiscs usw…

Eigenschaften:

  • Entfernt Partikel im Submicron-Bereich
  • Schonende Reinigung
  • Automatischer Frequenzabgleich bringt optimales Reinigungsergebnis