Spin Dryer

Spindryer
Zur effektiven Trocknung von Wafern und anderen Substraten
nach Nassprozessen mit Hilfe der Zentrifugalkraft.
Als manuelles Einzelgerät oder als Vollautomat
zur Integrierung in Nassbänke.

 

 

Maximaler Durchsatz pro Run:
100 Stück 6″ – Wafer (4 Kassetten)
oder
50 Stück 8″ – Wafer (2 Kassetten)
Maximale Umdrehung: 1000 U/min.
oder
26 Stück 12″ – Wafer (2 Kassetten)
bei maximaler Umdrehung: 800 U/min.

Material: Elektropolierter Edelstahl