Megasonic Reinigungssystem

Neues Megaschall-Reinigungs-System:
Modell XC1500-ME

Durch Ethernet/LAN Interface jetzt besonders auch für Industrie 4.0 Anwendungen geeignet.

  • Neuer High Performance Microprozessor
  • USB- und Ethernet- Schnittstellen (zusätzlich zu RS485)
  • 5“-TFT-Display mit Touchscreen (Parameter können jetzt direkt per Menu-Oberfläche abgelesen und geändert werden)
  • Neue Leistungs-Endstufe mit optimiertem Wirkungsgrad

 

Metronics Generator XC1500-ME

Metronics Generator XC1500-ME

Das neue Megasonic Reiniungssystem XC1500-ME bewirkt eine exzellente und dabei schonende Reinigungswirkung speziell für Strukturen im Sub-Micron-Bereich durch das bewährte „permanent frequency autotuning system“.

Zusätzlich wurde das neue Modell XC1500-ME an zukünftige Anforderungen angepasst (z.B. Ethernet-Schnittstelle für Industrie 4.0; USB; TFT-Display mit Touchscreen; …)

Ausführung als Quarzbecken
Ausführung als Quarzbecken
Ausführung als Edelstahlbecken
Ausführung als Edelstahlbecken
Ausführung als PVDF/PFA-Becken
Ausführung als PVDF/PFA-Becken

Anwendungen:

Etching (H2SO4, H2O2, SC-1, SC-2, …) bis 90°C
FR-, QDR-Reinigung von Wafern, Masken und anderen Substraten sämtlicher Größen
Reinigung von Harddiscs usw…

Eigenschaften:

  • Entfernt Partikel im Submicron-Bereich
  • Schonende Reinigung
  • Automatischer Frequenzabgleich bringt optimales Reinigungsergebnis
  • Frequenz: 1 MHz
  • Leistungsdichte Max. 5 W/cm²